岡本減薄機是全自動(dòng)向下進(jìn)給式研磨機，設備用于半導體材料諸如：硅、陶瓷、石英等硬質(zhì)材料的高精度研磨，不需要更換夾具，機械手從片盒取片子傳送到對中工作區，上料手拾取晶圓傳送到工作臺，工作臺被固定在步進(jìn)臺上旋轉120度送到粗磨工作區。

   岡本減薄機在完成粗磨以后，工作臺移動(dòng)到第二個(gè)研磨軸做精磨，在完成精磨后，工作臺旋轉到清潔站，在清潔站用去離子水和毛刷清洗晶圓，然后下料手取晶圓送到甩干臺，在甩干臺再次用去離子水和壓縮氣體清洗，在甩干臺晶圓被清潔后，機械手將晶圓放到片盒里。岡本減薄機在線(xiàn)自動(dòng)厚度測量，該裝置是防水的微電子測量/控制單元，用微加工器來(lái)控制測量頭，在研磨期間和研磨前測量晶圓厚度，操作界面上顯示測量結果，在實(shí)際硅片厚度條件下產(chǎn)生控制信號。

   岡本減薄機操作方法：全自動(dòng)、半自動(dòng)、手動(dòng)，機械精度的調整方法，通過(guò)主軸進(jìn)行調整，因為可進(jìn)行原點(diǎn)定位，所以精度調整相當容易；可2處調節，齒軸+定位銷(xiāo)進(jìn)行定位，長(cháng)年使用也不會(huì )發(fā)生位移，潤滑油及防護罩，防止進(jìn)入異物造成磨損。岡本減薄機設備高剛性，不會(huì )因老化造成精度變化，部件由岡本自產(chǎn)鑄金一體化生產(chǎn)，工件的加工精度能高于研具的原始精度，運動(dòng)軌跡的曲率變化小，以保證工件運動(dòng)平穩性。 

   岡本減薄機主要用于硅片、陶瓷、玻璃、石英晶體、藍寶石、其他半導體材料等非金屬和金屬的脆硬性材料精密零件的高速減薄，由工件吸盤(pán)，吸盤(pán)主軸及驅動(dòng)器組件，砂輪，砂輪主軸及驅動(dòng)組件，絲桿導軌進(jìn)給組件及其他輔助配件構成。岡本減薄機吸盤(pán)根據客戶(hù)的工藝要求可分為電磁吸盤(pán)和真空吸盤(pán)，吸盤(pán)大小可根據客戶(hù)需求定制，吸盤(pán)主軸驅動(dòng)方式為變頻調速，逆時(shí)針旋轉，吸盤(pán)主軸轉速3-140轉可調，吸盤(pán)轉速可以根據不同的工藝要求由PLC控制系統支持的驅動(dòng)模式相應改變。 

砂輪 

   岡本減薄機砂輪的大小是根據吸盤(pán)直徑大小來(lái)定的，一般有150-170-210mm的規格，砂輪的顆粒度是根據客戶(hù)對工藝的要求定制。岡本減薄機為精密磨削設備，由真空主軸吸附工件橫向移動(dòng)，靠緊磨輪，與金剛石磨輪作相反方向高速轉動(dòng)，金剛石磨輪前后擺動(dòng)。磨削阻力小不損傷工件，而且磨削均勻生產(chǎn)效率高。